Pháp Vô vi không sanh diệt, không biến đổi, không phải như các pháp hữu vi là Tâm vương, Tâm sở, Sắc pháp, Bất tương ưng hành có sanh diệt biến đổi. Do các pháp hữu vi (94 món) diệt rồi, thì pháp vô vi mới hiện bày (Tứ, sở hiển thị cố). 
Thật ra, vô vi không phải có 6 pháp, song vì theo từng khía cạnh của nó để giải thích, nên đặt ra 6 tên. 
1. Hư không vô vi: Chơn như hay Pháp tánh, không thể dùng ý thức suy nghĩ hay lời nói luận bàn được. Nó phi sắc, phi tâm, không sanh diệt, không cấu tịnh, không tăng giảm nên gọi là "Vô vi". 
Bởi nó không ngã, không pháp, rời các cấu nhiễm, rỗng rang như hư không, nên gọi là "Hư không vô vi". Đây là theo thí dụ mà đặt tên. 
2. Trạch diệt vô vi: Do dùng trí huệ vô lậu, lựa chọn diệt trừ hết các nhiễm ô, nên chơn như vô vi mới hiện. Vì thế nên gọi là "Trạch diệt vô vi". 
3. Phi trạch diệt vô vi: Vô vi không cần lựa chọn diệt trừ các phiền não. Có hai nghĩa: 
a) Tánh chơn như vốn thanh tịnh, không phải do lựa chọn diệt trừ các phiền não nhiễm ô mới có, nên gọi là "Phi trạch diệt".